掲載記事 Index
2000年修士論文発表会(2‐1５)卒業論文発表会(2-1８)のお知らせ
修士
- 天ヶ谷健太郎 ECR放電を用いたフラーレンプラズマの基礎特性とその応用
- 出頭学 混合プラズマにおける電極入射イオンの選択的エネルギー制御の試み
- 佐藤博文 炭素回転プラズマの駆動特性に及ぼすフローティングメッシュの効果
学部
- 荒木俊也 寺尾光央 プラズマイオン注入（ＰＢＩＩ）用高電圧モジュ
レータの製作とプラズマ実験への応用
- 河田知恵 混合プラズマから電極入射するイオンのエネルギー分布に関する
数値計算
- 黒川竜臣 福田泰宏） 短パルス放電による選択励起に関する予備実験
- 黒田真吾 嶋崎洋一 混合プラズマからの電極入射イオンと回転電場と
の相互作用
- 門前 薫 メッシュを透過する回転プラズマの挙動 （磁気プローブ計測法によるプラズマ電流分布の測定）
- 五明英世 メッシュを透過する回転プラズマの挙動 （ＯＭＡ分光計測法による回転速度、温度の測定）
- 鴻上嘉雄 メッシュを透過する回転プラズマの挙動 （粒子計測法によるプラズマ密度、速度、電位分布の測定）
- 小竹章英 鈴木大地 Ｃ60プラズマの基礎特性とその応用（ＥＣＲ放電を用いたフラーレンプラズマの生成）
- 坂根大輔 ＥＣＲ放電を用いたフラーレンプラズマ中のイオン種計測
- 鈴木紘生 アーク放電法によるSi60生成の試み
- Evening seminar (10月14日，18:00，工学部）で佐藤さんが講演します． 題：プラズマプロセスの最近の動向
12th Sympo. on Plasma Science for
Materials (SPSM-12) のお知らせ(99-5-26)
上記シンポジュウムが，99-6-16～17，東京大学山王会館（本郷キャンパス）で開催されます．
- Hirata et al. Si-Frallerene Compounds Produced by Controlling Plasma
Spatial Structure
- Amagaya et al, Development of Fullerene Plasma Source by ECR discharge
- Shuto et al, The Selective Energy Control of Ions Incident upon
the Electrode in Mixture Plasma by Employing Pondermotive Potential
の3件発表します．（16日午後13;30頃から ）
修士論文発表会(2‐16)卒業論文発表会(2-19)のお知らせ
修士論文発表会(2‐16，午後の後半）
茂木 規行：プラズマ制御によるSi－フラーレン複合物質の創製
小沼 真希：パルス変調混合プラズマにおける空間電位構造と
イオンエネルギー分布の計算機実験
内田 成昭：発散磁場中での回転プラズマの挙動
永吉 孝幸：プラズマ含浸イオン注入法(PIII)における電極シースの動的挙動
高柳 智弘：電子ビーム蒸発部生成プラズマの磁場を横切る流れ
卒業研究発表題目(2-19)
城戸 寛子：放電プラズマにおける最初のカオス実験（van der PoLの実験）の追試と再検討
小川 智司、小野 哲弘：MPDアークプラズマ法によるSi内包および置換フラーレンの合成
川島 守，深津 知弘：磁化プラズマ中で形成されるフラーレン膜の堅牢化に及ぼす磁場の効果
中森 英隆，村山 隆彦：パルス変調混合プラズマにおける電極入射イオンのエネルギー分布と空間電位測定
中村 祥一，前原 匡志：プラズマ含浸イオン注入法（ＰⅢ）の試作と基礎特性
佐藤 尚貴：回転プラズマの生成に対する発散磁場の効果
中山 拓昭，岩谷 徹：定常回転プラズマ装置の高速駆動の試み
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プラズマと微粒子研究会，電気学会プラズマ研究会(3-11,3-12.13
仙台）のお知らせ（99‐2‐5）
参加・関係者各位 殿
電気学会プラズマ研究会のプログラムを送付致します。
参加者は日時等を御確認下さい。
また、前日３／１１（木）には、「プラズマと微粒子」研究会
（幹事；佐藤徳芳教授、飯塚 哲助教授）が開催されます。
このプログラムも添付致します。
なお、この研究会と合同でプラズマ研究会では、
３／１１（木）午後５時３０分～６時３０分に
懇親会を行いたいと思います。こちらにも奮って御参加して
いただけるよう御願い申し上げます。
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プラズマ材料科学第１５３委員会
第４２回委員会研究会開催通知
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１．研究会日時：平成１１年３月１１日（木）
２．場所：東北大学工学部・電気情報館４５１・４５３会議室
３．テーマ「プラズマと微粒子」
１３：３０～１４：１0
「CVDプラズマ中におけるクラスター成長」
渡辺 征夫 、 白谷 正治
（九州大学大学院システム情報科学研究科）
１４：１０～１４：５０
「プラズマ中における微粒子雲の振舞い」
佐藤 徳芳、 飯塚 哲、内田 儀一郎、尾崎 亮一
（東北大学大学院工学研究科）
１５：００～１５：４０
「プラズマエッチング装置における剥離パーティクル計測」
鎌田 剛
（富士通研究所、基盤技術研究所、ＵＬＳＩファブテクノロジ研究部）
１５：４０～１６：２０
「熱プラズマを用いた複合微粉末の合成」
藤井 隆司
（日清製粉（株） 生産技術研究所 粉体研究室）
１６：２０～１７：２０
学振１５３委員会委員の研究紹介
松田 彰久（電子技術総合研究所・薄膜シリコンスーパーラボ）
藤岡 洋 （東京大学大学院工学系研究科）
橘 邦英 （京都大学大学院工学研究科）
松浦 孝 （東北大学電気通信研究所）
１７：３０～１８：３０
フリーディスカッション with drink
（電気学会プラズマ研究会と合同）
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プラズマ研究会
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〔委員長〕桂井 誠（東 大）
〔幹 事〕菅井秀郎（名古屋大），小野 茂（武蔵工大）
〔幹事補佐〕安岡康一（東工大）
日 時 3月12日（金） 9：15～17：10
3月13日（土） 9：00～11：30
場 所 東北大学工学部・電気情報館451・453会議室（仙台市青葉区荒巻字青葉05
，
交通：仙台駅よりバス約15分「工学部経由青葉城祉循環」「工学部経由宮
教大行き」
工学部前下車，TelO22－217－7064）
協 賛 The Tokyo Chapter on the IEEE Nuclear and Plasma Science Society
／
Plasma
講 演 テーマ「プラズマー般」
3月12日（金）
9：15～10：45
EP－99ー1 PBII法に用いるRFプラズマ源の諸特性
門口敏秀，吉岡健司，行村 建（同志社大）
EP－99ー2 有磁場誘導結合型プラズマにおける密度の2段階ジャンプ
鈴木高之，前田譲治，小越澄雄（東京理科大），桂井 誠（東大）
EP－99ー3 平板型表面波プラズマ装置におけるマイクロ波電力吸収効率の測定
小池謙一，柳田憲史，森野達朗，桂井 誠（東大）
10：55～12：25
EP－99-4 PLD法で成膜した膜表面の粗さ改善
平井 誠，紅 偉華，八井 浄（長岡技術大）
EP－99ー5 RFプラズマから基板に入るフラックスへのガードリングの効果
古関代司，中谷和生，高橋 淳，高木浩一，藤原民也，佐藤信安（岩手
大），
永田雅克，小野幹幸（（株）フジクラ）
EP－99ー6 ECRプラズマプロセス装置における容器壁のその場クリーニング
掘内幸一郎，飯塚 哲，佐藤徳芳（東北大）
13：30～13：30
EP-99-7 モンテカルロ・シミュレーションによるホロー陰極放電の機構解析
小武昌之（群馬大），後藤 誠（ポリテクカレッジ群馬），
松岡昭男，高橋俊樹，近藤義臣（群馬大），岡田富堆（前橋工科大）
EP－99ー8 レーザーアブレーションによるプルームの挙動とMDシミュレーション
石山政文，長谷部忠司，今井田豊，行村 建（同志社大）
EP－99-9 パルスパワーによる大電流異常グロー放電の生成
北村大介，高木浩一，藤原民也（岩手大）
EP－99ー10 パルスパワー発生装置“ETIGO－III”によるIREB発生最適化
豊嶋励自，池垣卓朗，今田 剛，紅 偉華，八井 浄（長岡技術大
）
15：40－17：10
EP－99ー11高強度電磁波を用いたプラズマ利用粒子加速器の研究
伊藤弘昭，今井将史，湯上 登，西田 靖（宇都宮大）
EP－99ー12 高出力マイクロ波とプラズマとの相互作用における高速電子の生成機構
藤 利行，半田貴典，鈴木恵太，伊藤弘昭，湯上 登，西田 靖（
宇都宮大）
EP－99ー13 ヘリカル系磁気容器の立体磁気軸化に伴う粒子閉じ込め特性の変化
吉井啓一，前田譲治，小越澄雄（東京理科大），桂井 誠（東大），
岡本正雄，横山雅之（核融合研）
3月13日（土）
9：00～11：30
EP－99ー14 径方向プラズマ電位分布制御と低周波揺動
吉沼幹朗，服部邦彦，安藤 晃，犬竹正明，金子俊郎，畠山力三，佐藤
徳芳（東北大）
EP一99ー1５ 新型プラズマジェットの開発
渡部政行，板垣 稔（岩手大）
EP－99ー16 HITOPプラズマを用いたマイクロ波反射計計測法の開発
服部邦彦，福士研二，落合 勉，森 貴博，安藤 晃，犬竹正明（東
北大）
EP－99ー17 20kVA定格ディーゼル発電機のNOx処理
工藤昭一，高木浩一，加藤昭二，藤原民也（岩手大），黒石一夫（HE
SCO）
EP－99ー18 磁化プラズマ中におけるフラーレン堆積膜形成に及ぼす磁場の効果
天ケ谷健太郎，佐藤直幸，田辺利夫，池畑 隆，真瀬 寛（茨城大）
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（現地世話人）
犬竹 正明
東北大学 〒980-8579 仙台市青葉区荒巻字青葉05
大学院工学研究科 TEL: 022-217-7062, FAX: 022-263-9232
電気・通信工学専攻 E-MAIL: inutake@ecei.tohoku.ac.jp
服部邦彦 郵便 980-8579仙台市青葉区荒巻字青葉05
東北大学大学院工学研究科 tel. 022-217-7064, fax. 022-263-9166
電気・通信工学専攻 E-MAIL; hattori@ecei.tohoku.ac.jp
高温電磁流体工学
プラズマ核融合学会，電気学会茨城支所研究発表会のお知らせ(98-10-22)
プラズマ核融合学会大15回年会(筑波,12月１～4日)の発表題目
内田 成昭：発散磁場中での回転プラズマの挙動
小沼 真希：PIC法による平行平板型パルス変調混合プラズマの数値解析
高柳 智弘：電子ビーム蒸発部生成プラズマの磁場を横切る流れ
永吉 孝幸：プラズマ含浸イオン注入装置(PIII)の試作と基礎特性
茂木 規行：プラズマ制御によるSiCnフラーレン生成
電気学会はこちら
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電気学会プラズマ研究会のお知らせ(98‐4‐15）
6月19日(金),20日(土)，工学部で開催されます．当研究室から次の2件を発表します．
- 混合プラズマにおける電極入射イオンのパルス変調によるエネルギー制御
茨城大工 小沼真希，出頭 学， 佐藤直幸，田辺利夫，池畑 隆，真瀬 寛
- 同軸型回転プラズマ銃のプラズマ駆動特性に対する導電性メッシュの効果
茨城大工 佐藤博文、原田真幹、朝原徹、池畑隆、佐藤直幸、田辺利夫、真瀬寛
卒研・修論発表会のお知らせ（98-2-1)
市村 房紀 ，太田 浩史郎：ＭＰＤ（Ｍａｇｎｅｔｏ-Ｐｌａｓｍａ
Ｄｙｎａｍｉｃｓ）アークプラズマ法によるフラーレン合成
天ヶ谷 健太郎 ，塘 俊和：フラーレンーアルゴン混合プラズマの基礎特性
小林 誠 ，出頭 学：パルス変調混合プラズマ中イオンの質量弁別イオンエネルギー測定
竹下 洋介，吉村 剛志：定常回転プラズマ装置の基礎特性
佐藤 博文 ，原田 真幹：金属メッシュを有する回転プラズマの特性
朝原 徹：回転プラズマに対する陽極メッシュの効果
橋本 佳夫：パルス変調混合プラズマ中におけるイオンエネルギー制御
宮城 裕行：新方式アークプラズマ法によるフラーレン合成
吉田 毅：C６０プラズマの特性及びC６０薄膜形成（イオン種測定及びプラズマ中フラーレン膜の堅牢化）
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最新情報（70920)
電気学会茨城支所研究発表会で研究室の大学院学生が講演します．
| 朝原 徹(M2) |
回転プラズマの特性にたいする陽極メッシュの効果 |
| 橋本 佳夫（M2) |
パルス変調混合プラズマ中におけるイオンエネルギー分布 |
| 宮城 裕行（M2) |
Blowout方式アーク放電法によるフラーレン合成 |
| 吉田 毅（M2) |
C60プラズマの特性およびC60薄膜形成 |
| 内田 成昭（M1) |
回転プラズマの不安定性にたいする中性気体の効果 |
| 小沼 真希（M1) |
平行平板型RFプラズマの数値解析 |
| 永吉 孝幸（M1) |
発散磁場での回転プラズマの生成と加速 |
| 茂木 規行（M1) |
TOF型質量分析器によるフラーレン－アルゴンプラズマのイオン種測定 |
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